藏在半导铁盒里的秘密：ANCORP高洁净材料是半导体高纯工艺的核心组件

蝴蝶效应下的半导体市场

经过2020年上半年疫情肆虐的冲击，蝴蝶效应随后引发了持续至今的芯片全产业链缺货潮。而中美贸易摩擦刺激下的国产替代大潮，在国家政策利好的资本加持下，中国半导体行业投资热度持续升温。“去年以来中国半导体产业可以说是红红火火、喜上眉梢的一年，但是也存在产业投资过热的情况。明年或者最迟后年，全球半导体市场规模将达到5000亿美元规模。

半导体工艺里高洁净材料

半导体业如此巨大的市场，半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律，给电子业描绘的前景，必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高，功能更强大。

高洁净材料主要包括真空腔体、压力容器、泵、阀、法兰、管道和管件等，属于高纯工艺中高洁净流体管路系统和超高真空系统的关键组件。半导体制造属于高精密制造，杂质的污染对工艺会产生极为有害的影响，百万分之一以下的氧气含量就会使大量的大规模集成电路芯片报废，对晶圆厂造成极大损失。高洁净材料作为高纯工艺系统的核心组件直接决定系统性能。目前，高纯工艺已经从最初的ppm（百万分之一）级逐步发展到ppb（十亿分之一）及以下，又被称为量子级不纯控制技术。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序。

真空阀门与普通阀门的区别

真空阀门是指阀门内腔为真空状态，通常叫负压，内腔压力低于大气压，用于真空管道系统的阀门，有真空球阀，真空蝶阀，真空隔膜阀等。介质为高纯度。球阀、闸阀、截止阀等等均能生产成真空阀和普通常规阀门。从外形上无区别，在阀门连接部位设计上是有分别的，只是细节上的问题。

真空阀门相对于正压阀门具有下列特点：

压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。

也具有以下广泛性的性能：

1、防锈性

在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。

2、工作压力范围在0～2.5×105Pa

对较宽的压力范围，会使产品的使用面更广泛，而且阀板的密封最好是双向的，至少阀板在反顶大气压时也可密封。

3、低漏率

在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率，对降低生产成本非常有效。

4、起动时，震动低，对系统冲击小。

5、结构紧凑，重量轻

6、明显的阀位指示

7、可选配加装阀门启闭信号控制器，便于编程自动化控制。

8、高流导

9、采用波纹管作为位移的动密封

无动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。

10、真空部分尽量避免采用真空脂。

11、尽量减少真空部件内的无用空间，以保证真空获得的时间更少。

12、尽可能的减少功耗

按介质压力真空阀门可分成四组：

1）低真空阀门：介质压力p=760~1毫米汞柱；

2）中真空阀门：p=1×10-3 毫米汞柱。

3）高真空阀门：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；

4）超高真空阀门：p≤1×10-8 毫米汞柱。

真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但大通径来说，可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。

真空组件的应用

随着能源需求的增长和可再生能源的发展趋势，汽车和工业市场的增长以及数据处理，通信和消费电子市场的加速增长，半导体行业正在进入创新的新时代。从智能手机逻辑板到驱动自动驾驶汽车的芯片，高真空和超高真空产品被用于半导体制造工艺中，从而帮助实现了这些创新。

从标准组件到从生产到印刷定制制造的所有产品都用于半导体制造设施中的工艺工具，计量设备和下游气体减排系统，这些设施可生产集成电路，LED，太阳能电池板，微电子产品等。

分享下ANCORP公司基于半导体行业的真空解决方案:

高真空阀 – ANCORP真空球阀的耐腐蚀设计使其非常适合隔离用于MOCVD，PVD和其他沉积工艺的真空镀膜工具上的反应器，捕集阱和洗涤塔。

真空硬件 – ANCORP提供了一套高真空和超高真空组件，包括CF，ISO和ASA法兰，配件和其他组件，这些组件可帮助创建发生半导体工艺的高真空环境。

VacuShield疏水阀和过滤器 – ANCORP的真空疏水阀和过滤器可有效有效地截留分子，蒸汽和颗粒。根据沉积应用的不同，这些组件可保护真空泵系统免受有害污染物的侵害或降低系统压力。

高真空组件的技术发展

变革性的科学技术，对半导体行业而言，这意味着使流程更高效，减少停机时间并最终减少客户的延迟成本。在高真空和超高真空领域，研究人员正在粒子加速，核物理，运输，医疗，技术，国土安全，航空航天等领域发现新发现。这些领域的研究要求真空系统能够承受低压和高温真空环境，同时还要保持真空完整性和清洁度。

品牌推荐—ANCORP

1965年以来赋予科学与技术力量作为高真空和超高真空组件的制造商，我们为研究人员，科学家，工程师和制造商提供构建和维护其真空系统所需的产品。我们提供从 真空硬件到阀门定制制造的所有产品。ANCORP的标准组件和定制组件可实现各种过程，以生产集成电路，LED，太阳能电池板和微电子产品，包括PVD，PECVD，LPCVD，ALD，RIE，RTP，等离子灰化，外延，扩散，离子注入，等离子表面处理， 和更多。

从太阳镜上的偏光镜片到工具和装饰涂层，再到望远镜镜，ANCORP产品可用于生产消费品，镜子，镜片，存储设备和工业涂料。薄膜沉积行业使人们每天使用的产品成为可能，我们为能够为工业薄膜行业提供高真空解决方案而感到自豪！

产品选型

都可以通过简单的打开或关闭命令来调节通过系统的气体流量。这些阀门设计用于完全打开或关闭。标准设计并非旨在进行流量控制，而是用于真空系统的简单的开/关控制机制。

疏水阀

ISO夹具和紧固件

常用型号

1.ANCORP手动二通球阀

①手动二通球阀3000028

②手动二通球阀3000029

③手动二通球阀3000030

④手动二通球阀3000031

⑤手动二通球阀3000032

2.ANCORP螺栓

①螺栓604510

②螺栓604511

③螺栓604512

④螺栓604513

⑤螺栓604514

3.ANCORP的O型圈

①O型圈600003

②O型圈600006

③O型圈600008

④O型圈600010

⑤O型圈600011